Bộ điều khiển lưu lượng khối kỹ thuật số MKS GM100A (50-100 slm)

Dải điều khiển: 2% đến 100% Toàn thang đo

Dải đo lưu lượng: 50.000 - 100.000 sccm (tương đương N2)

Tín hiệu Đầu vào Đầu ra Lưu lượng: Điện áp: (0 đến 5 VDC) 15 chân Loại "D" đực, 9 chân Loại "D" đực, Dòng điện: (4 đến 20 mA) 15 chân Loại "D" đực

Áp suất đầu vào tối đa: 150 psig

Vi sai áp suất hoạt động thông thường: 50.000 - 100.000 sccm; 40 đến 80 psid

Áp suất thử nghiệm: 1000 psig

Áp suất nổ: 1500 psig

Độ chính xác điển hình: ± 1% điểm đặt cho 20 đến 100% Toàn thang đo, ± 0,2% Toàn thang đo cho 2 đến 20% Toàn thang đo

Độ lặp: ± 0,3% giá trị đọc

Độ phân giải: 0,1% Toàn thang đo

Hệ số nhiệt độ Zero: <0,05% của Toàn thang đo/°C

Hệ số nhiệt độ Span: <0,08% giá trị đọc/°C

Hệ số áp suất đầu vào: <0,02% giá trị đọc/psi

Thời gian ổn định điển hình: <750 msec., Điển hình trên 10% Toàn thang đo

Thời gian khởi động: 30 phút

Nhiệt độ hoạt động: 10° đến 50°C

Độ ẩm lưu trữ: 0 đến 95% Độ ẩm tương đối, không ngưng tụ

Nhiệt độ lưu trữ: -20 ° đến 80 ° C

Vật liệu thấm ướt: Thép không gỉ 316L VAR, Thép không gỉ 316, Elgiloy®, Niken

Hoàn thiện bề mặt: 10µ inch average Ra

Trọng lượng: 3 lbs (1,4 kg)

Tuân thủ: CE

Thang đo chi tiết vui lòng tham khảo tài liệu đính kèm!

Literature

Drawing