Bộ điều khiển lưu lượng khối kỹ thuật số MKS GM50A (5sccm-50slm; 1.45in. Wide)

Dải điều khiển: 2-100% Toàn thang đo

Dải đo lưu lượng : 5 - 50000 sccm (tương đương N2)

Áp suất đầu vào tối đa: 150 psig

Vi sai áp suất hoạt động thông thường: 10 đến 5000 sccm; 10 đến 40 psid, 10000 đến 20000 sccm; 15 đến 40 psid, 30000 đến 50000 sccm; 25 đến 40 psid

Áp suất thử nghiệm: 1000 psig

Áp suất nổ: 1500 psig

Độ chính xác điển hình: ± 1% điểm đặt cho 20 đến 100% Toàn thang đo, ± 0,2% Toàn thang đo cho 2 đến 20% Toàn thang đo

Độ lặp: ± 0,3% giá trị đọc

Độ phân giải: 0,1% Toàn thang đo

Hệ số nhiệt độ Zero: <0,05% Toàn thang đo/°C

Hệ số nhiệt độ Span: <0,08% giá trị đọc/°C

Hệ số áp suất đầu vào: <0,02% giá trị đọc/psi

Thời gian ổn định điển hình: <750 msec, điển hình trên 5% Toàn thang đo

Thời gian khởi động: 30 phút

Nhiệt độ hoạt động: 10°C đến 50°C

Độ ẩm lưu trữ: 0 đến 95% Độ ẩm tương đối, không ngưng tụ

Nhiệt độ lưu trữ: -20° đến 80°C

Vật liệu thấm ướt: 316L S.S. VAR, 316 S.S., Elgiloy®, Niken, KM45

Trọng lượng: t3 lbs (1,4 kg)

Tuân thủ: CE

Thang đo chi tiết vui lòng tham khảo tài liệu đính kèm!

Literature

Drawing