Thiết bị kiểm tra lưu lượng khối chính xác cao MKS HA-MFV (5 - 3000 sccm)

Độ lặp : ± 0,5% giá trị đọc

Độ tái lặp: ± 0,3% giá trị đọc

Dải áp suất: 100 Torr

Độ chính xác áp suất: 0,25% giá trị đọc

Áp suất thử nghiệm: 45 psia

Áp suất nổ: 150 psig

Áp suất cấp khí nén tối thiểu: 80 psig

Áp suất cấp khí nén tối đa: 100 psig

Hệ số nhiệt độ Span: <0.002% giá trị đọc/°C

Thời gian khởi động: 60 phút

Nhiệt độ hoạt động: 10-40 ° C

Hiển thị nhiệt độ: 0-100 ° C

Độ chính xác nhiệt độ: ± 2 ° C

Độ phân giải nhiệt độ: 0,1 ° C

Độ ẩm lưu trữ: 0 - 95% RH không ngưng tụ

Nhiệt độ bảo quản: -20 - 60 ° C (-4 - 160 ° F)

Giao tiếp điều khiển: DeviceNet: Loại đầu nối Micro DeviceNet 5-pin

EtherCAT: Dual RJ-45 (Comm.) M8 Male 5pin (PWR)

Giao tiếp chẩn đoán: Ethernet RJ-45 female

Điện áp đầu vào: DeviceNet: 11-25 VDC

EtherCAT: 11-25VDC +24 VDC (± 10%)

Kích thước: 6,98 x 10,0 x 10,0 inch (177,3 x 254,0 x 254,0 mm) (HxWxL)

Trọng lượng: 23,9 lbs (10,9 kg)

Tuân thủ: CE

Đơn vị đọc nhiệt độ: ° C

Dải xác minh toàn thang đo: 5 - 3000 sccm (tương đương N2)

Độ chính xác điển hình: ± 1,0% giá trị đọc

Thang đo chi tiết vui lòng tham khảo tài liệu đính kèm!

Literature

Technical Notes

Manual

Drawing