Nguồn plasma vi sóng công suất cao MKS HMPSS-MKS (6 kW, Sapphire)

Kiểu: Nguồn Plasma công suất cao

Vật liệu ống Plasma: Sapphire

Tần số hoạt động: 2,44-2,47 GHz

Công suất tối đa: 6 kW

Áp suất hoạt động: 1-10 Torr

Tổng lưu lượng khí: 1-10 slm

Lưu lượng nước tối thiểu: 0,50 gpm ở mức tối thiểu 37 psid

Ống dẫn sóng: WR284

Đầu kết nối mặt bích ống dẫn sóng: CPR284F với bu lông

Đầu kết nối đầu nạp nước: 3/8 inch Swagelok®

Đầu kết nối đầu xả nước: 3/8 inch Swagelok®

Yêu cầu điện đối với đèn UV: 24 VDC, 1.0 Amp

Đầu nối đường dẫn khí: 4 VCR® male

Kích thước: 18.52 x 4.5 x 6.32 inches

Trọng lượng: 18 lbs

Tuân thủ: CE

Literature

Drawing