Hệ thống Plasma vi sóng công suất cao MKS HMPX60S-MKS (6kW; 2440-2470MHz; Sapphire)

Công suất đầu ra Plasma tối đa: 6.0 kW

Tần số: 2.440-2.470 MHz

Độ chính xác đầu ra: <1% điều khiển vòng kín

Nhiệt độ môi trường: Tối đa lên đến 40°C

Kết nối lò vi sóng: Ống dẫn sóng WR284F với CPR284F flanges

Yêu cầu nguồn điện: 200-208 VAC, 3 pha, 50/60 Hz

Autotune: <1,5 giây với <2% công suất phản xạ

Hóa chất: O2, N2H2, N2, H2O, NH3, H2

Chất liệu: Sapphire

Áp suất hoạt động: 1-10 Torr

Giao tiếp: Analog, RS485

Tuân thủ: CE

Cấu hình: KF40, tùy chỉnh

Làm mát: Nước: 1 GPM, 20-30 ° C, tối đa 71 PSI (ứng dụng yêu cầu cung cấp nước làm mát độc quyền ở 0,50 GPM)

Kích thước máy phát nguồn cấp: (7U rack) 19 H x 12.2 W x 20.03 D in. (482.6 x 309.88 x 508.76 mm)

Kích thước đầu Magnetron của Đầu nguồn: 9,85 H x 9,85 W x 16 D inch (250,19 x 250,19 x 406,4 mm)

Literature

Drawing