Thiết bị đo lưu lượng khối lượng MKS IM100A-MFM (50-100 slm)

Dải lưu lượng: 50,000-100,000 sccm (tương đương N2)

Dải đo: 0,1% đến 100% của Toàn thang đo

Áp suất đầu vào tối đa: 500 psi

Áp suất thử nghiệm: 1000 psig

Áp suất nổ: 1500 psig

Độ chính xác điển hình: ± 1% giá trị đọc

Độ lặp: ± 0,3% giá trị đọc

Độ phân giải: 0,1% Toàn thang đo

Hệ số nhiệt độ Zero: <0,05% của Toàn thang đo/°C

Hệ số nhiệt độ Span: <0,08% giá trị đọc/°C

Hệ số áp suất đầu vào: <0,02% giá trị đọc/psi

Thời gian khởi động: 30 phút

Nhiệt độ hoạt động: 10-50°C

Độ ẩm lưu trữ: Độ ẩm tương đối 0 đến 95%, không ngưng tụ

Nhiệt độ bảo quản: -20° đến 80°C (-4° đến 176°F)

Cấp bảo vệ vỏ: IP66

Yêu cầu nguồn điện: +15 đến +24 VDC tại (<2 watt)

Tín hiệu đầu ra đầu vào lưu lượng: Điện áp (0 đến 5 VDC)

Dòng điện (4 đến 20 mA)

Đầu nối I/O Analog: 15 pin Type "D" male, 9 pin Type "D" male

Trọng lượng: <2,5 lbs (1,1kg)

Tuân thủ: CE

Thang đo chi tiết vui lòng tham khảo tài liệu đính kèm!

Literature

Drawing