Máy phát RF Plasma KEINOS™ MKS KEINOS (5, 11, hoặc 13kW; 2MHz)

Tần số: 1.985 MHz

Dải điều chỉnh tần số: ± 10%

Công suất đầu ra: 5kW, 11kW, 13kW

Độ chính xác: ± 5W lên đến 500W; ± 1% từ 501W đến công suất tối đa

Dải trở kháng tải: Không giới hạn

Tần số xung: Lên đến 50KHz

Thời gian tăng xung: <5 µsec

Thời gian hạ xung: <5 µsec

Độ rộng xung tối thiểu: 10 µsec

Độ lặp năng lượng xung: <3%

Nguồn AC đầu vào: 200/208: VAC ± 10%, 3 pha, 50/60 Hz

Dòng điện định mức: 5 kW: 25 amps max

11 & 13 kW: 55 amps max

Đầu nối RF: Tiêu chuẩn SQS (đầu ra QC)

Giao tiếp: Ethernet, RS232

Kích thước: 5 kW: 5.25 x 17.5 x 24.5 inches

11 kW & 13 kW: 8.30 x 17.8 x 25.5 inches (H x W x D)

Tuân thủ: NRTL, CE EMC (EN60204, 61010), SEMI S2, S7, S14, SEMI F47, UL61010

Literature

Drawing

Other