Máy phân tích khí dư MKS MICROVISION-2 (100, 200, 300 amu)

Kỹ thuật đo: Phương pháp khối phổ

Phạm vi khối lượng: 100, 200 hoặc 300 amu

Đầu dò: Faraday

Faraday: 1.5e-11 Torr (2e-11 mbar)

Sợi Filaments: Vonfram hoặc Thoria coated Iridium

Áp suất hoạt động tối đa của máy phân tích: 7.6 x 10^-5 Torr

Độ nhạy nguồn ion: 2.0 x 10^-4 A/mbar

Nồng độ tối thiểu có thể dò: 3 độ lệch chuẩn của nhiễu cơ bản tại tích hợp 300 ms

Độ phân giải: >10% độ uốn cho các đỉnh có chiều cao bằng nhau trong phạm vi khối lượng

Nhiệt độ nung chân không: 250°C (tháo bộ mở rộng hoặc thiết bị điện tử)

Tỷ lệ thoát khí UHV: <1e-9 mbar -l/s

Tấm vi kênh: 3.8e-14 Torr (5e-14 mbar)

Kênh đơn EM: 7.6e-15 Torr (1e-14 mbar) Chỉ cấu hình ba kênh

Gắn mặt bích: DN 40 CF-F

Thang đo chi tiết vui lòng tham khảo tài liệu đính kèm!

Literature

Drawing