Máy phát RF Plasma NOVA® MKS NOVA-50A (5 kW; 2 MHz)

Tần số: 2.00 MHz ±0.005%

Dải công suất động: 10 - 5000 W

Công suất đầu ra: 5.0 kW

Dải trở kháng tải: Không giới hạn

Đầu ra & độ méo sóng hài: <-40dBc

Dung sai quy định: >500 W: <2.0% SP, <500 W: ±5.0 W

Nguồn AC đầu vào: 200/208 VAC, 3 / PE ~ (3W + G) 32A / PHASE

Đầu nối RF: Loại HN

Giao diện: Tiêu chuẩn: RS-232 Subminiature, Type-D 9 chân kỹ thuật số; thẻ giao diện tùy chỉnh mua thêm có sẵn.

Giá treo: adapter 19 inch được cung cấp

Hệ thống làm mát: Lưu lượng nước ở 2.0 Gal./Min. (7,6 LPM), tối thiểu tại 5°C đến + 35°C. Các kết nối được cung cấp để đáp ứng ren3/8 inch male (NPT).

Kích thước: 8,72 "x 19" giá treo x 22,1 "(221 x 483 x 560 mm.) (HxWxD) (không bao gồm tay cầm & đầu nối)

Trọng lượng: 91 lbs (41,3 kg)

Tiêu chuẩn: NRTL Listed: UL3111-1 (1994), CAN/CSA C22.2 No. 1010.1-92, EN61010-1:1993, A2:1995, EN50081-2: 1992, EN50082-2: 1995

Literature