Hệ thống tạo Ozone MKS O3CS (0,5-20 slm)

Đầu ra Ozone: 25-225 g / giờ (tùy thuộc cấu hình) ở áp suất cấp ozone 25 psi và nước làm mát 17 ° C

Nồng độ ôzôn: Lên đến 20% trọng lượng (300 g / m3) (tùy thuộc cấu hình)

Lưu lượng: 0,5-20 slm (tùy thuộc cấu hình)

Nhiệt độ hoạt động: 20-40 ° C (68-104 ° F)

Áp suất danh định (Cung cấp): 0,7-3,1 bargauge (10-45 psig)

Giao diện điều khiển: Hoạt động từ xa,Discrete analog I/O 25 pin D-sub, DeviceNet®, Ethernet Modbus TCP

Yêu cầu điện áp: 208 VAC

Yêu cầu dòng điện: Dòng điện danh định tối đa 2-10A (tùy thuộc cấu hình)

Tần số: 50/60 Hz

Pha điện áp: 3 pha, GND (no neutral)

Kích thước: 482 x 429 x 267 mm (19 x 16,89 x 10,5 in)

Trọng lượng: ~ 40 kg (88 lb) (tùy thuộc cấu hình)

Tuân thủ: SEMI S2-0302, SEMI F47, UL 61010-1, CAN / CSA-61010-1

Literature

Drawing