Bộ điều khiển lưu lượng khối hiệu suất cao MKS P4B (5 sccm - 50 slm)

Dải đo lưu lượng: 5 - 50.000 sccm (tương đương N2)

Áp suất đầu vào tối đa: 150 psig

Vi sai áp suất hoạt động thông thường: 5 - 5000 sccm (10 - 40 psid)

10000 - 20000 sccm (15 - 40 psid)

30000 t- 50000 sccm (25 - 40 psid)

Áp suất thử nghiệm: 1000 psig

Áp suất nổ: 1500 psig

Dải điều khiển: 2% đến 100% Toàn thang đo

Độ chính xác điển hình: ± 1% điểm đặt cho 20 đến 100% Toàn thang đo

± 0,2% Toàn thang đo cho 2 đến 20% Toàn thang đo

Độ lặp: ± 0,3% giá trị đọc

Độ phân giải: 0,1% Toàn thang đo

Hệ số nhiệt độ Zero: <0,05% của Toàn thang đo/°C

Hệ số nhiệt độ Span: <0,08% giá trị đọc/°C

Hệ số áp suất đầu vào: <0,02% giá trị đọc/psi

Thời gian ổn định điển hình: <750 msec., Điển hình trên 5% Toàn thang đo

Thời gian khởi động: 30 phút

Nhiệt độ hoạt động: 10° đến 50°C

Độ ẩm lưu trữ: 0 đến 95% Độ ẩm tương đối, không ngưng tụ

Nhiệt độ lưu trữ: -20° đến 80°C

Hiển thị nhiệt độ: 0 đến 100°C

Độ chính xác nhiệt độ: ± 2°C

Độ phân giải nhiệt độ: 0,1°C

Màn hình: 4 ký tự cho giá trị, 4 ký tự cho đơn vị

Vật liệu chân van: PTFE (Teflon)

Trọng lượng: 3 lbs (1,4 kg)

Tuân thủ: CE

Yêu cầu nguồn điện: +15 đến +24 VDC tại 350mA tối đa

Đầu nối I/O tương tự: 15-pin Type "D" Male, 9 pin Type "D" Male

Tín hiệu đầu ra đầu vào lưu lượng: 0 đến 5 VDC

Thang đo chi tiết vui lòng tham khảo tài liệu đính kèm!

Literature

Drawing