Bộ điều khiển lưu lượng khối hiệu suất cao MKS P9B (5 - 50000 sccm; P-insensitive)

Dải đo lưu lượng: 5 đến 50.000 sccm (tương đương N2)

Áp suất đầu vào tối đa: 150 psig

Vi sai áp suất hoạt động thông thường: 10 - 5000 sccm; 10 - 40 psid

10000 - 20000 sccm; 15 - 40 psid

10000 - 20000 sccm; 15 - 40 psid (Toàn dải N2 với áp suất khí quyển tại đầu ra MFC)

Áp suất thử nghiệm: 1000 psig

Áp suất nổ: 1500 psig

Dải điều khiển: 2% đến 100% Toàn thang đo

Độ chính xác điển hình: ± 1% điểm đặt cho 20-100% Toàn thang đo

± 0,2% Toàn thang đo cho 2-20% Toàn thang đo

Độ lặp: ± 0,3% giá trị đọc

Độ phân giải: 0,1% Toàn thang đo

Hệ số nhiệt độ Zero: <0,05% Toàn thang đo/°C

Hệ số nhiệt độ khoảng: <0,08% giá trị đọc/°C

Hệ số áp suất đầu vào: <0,02% giá trị đọc/psi

Thời gian ổn định điển hình: <750 msec., Điển hình trên 5% Toàn thang đo

Thời gian khởi động: 30 phút

Nhiệt độ hoạt động: 10° đến 50°C

Độ ẩm lưu trữ: 0 đến 95% Độ ẩm tương đối, không ngưng tụ

Nhiệt độ lưu trữ: -20° đến 80°C

Hiển thị nhiệt độ: 0 đến 100°C

Độ chính xác nhiệt độ: ± 2°C

Độ phân giải nhiệt độ: 0,1°C

Màn hình: 4 ký tự cho giá trị, 4 ký tự cho đơn vị

Hiển thị áp suất: 0 đến 100 psia

Đơn vị đọc áp suất: psia, kPA

Độ chính xác áp suất: 1% Toàn thang đo

Độ phân giải áp suất: 0,1 psia

Vật liệu chân van: PTFE (Teflon)

Trọng lượng: 3 lbs (1,4 kg)

Tuân thủ: CE

Thang đo chi tiết vui lòng tham khảo tài liệu đính kèm!

Literature

Drawing