Bộ điều áp hạ lưu đo lưu lượng MKS PPCMA (5 - 1000 Torr)

Loại: Bộ điều khiển áp suất tuyệt đối PPCMA với máy đo lưu lượng khối lượng

Dải đo áp suất: 5, 10, 20, 50, 100, 200, 500 hoặc 1000 Torr Toàn thang đo

Loại đầu nối: Swagelok® 4 VCR® Male

1.5 inch surface mount (C-seal)

Vị trí van: Thường đóng

Chân van: PTFE (Teflon®), Elastomer (Viton®), Buna, Neoprene, EPDM

Lưu lượng: 5, 10, 20, 50, 100, 200, 500, 1000, 2000, 5000 (tương đương N2)

Đơn vị đọc áp suất: Torr, kPa, mBar, psi

Độ phân giải áp suất: 0,1 Torr

Độ chính xác kiểm soát áp suất: ± 1,0% giá trị đọc (≥10% toàn thang đo)

± 0,2% Toàn thang đo (<10% Toàn thang đo)

Giới hạn quá áp của bộ chuyển đổi: 2x Toàn thang đo cho tất cả các dải

Áp suất chênh lệch tối đa: 45 psid

Áp suất nổ: 1500 psig

Độ chính xác đo áp suất: ± 0,5% giá trị đọc

Dải đo kiểm soát:> 5 đến 100% Toàn thang đo

Thời gian phản hồi: <1,0 giây (không bao gồm hằng số thời gian hệ thống)

Nhiệt độ hoạt động: 10-50 ° C (50 đến 122 ° F)

Nhiệt độ bảo quản: -20 đến 80 ° C (-4 đến 176 ° F)

Độ ẩm lưu trữ: 0 đến 95% Độ ẩm tương đối, không ngưng tụ

Dải đo lưu lượng: 2% đến 100% Toàn thang đo

Độ lặp lại lưu lượng: ± 0,3% giá trị đọc

Độ phân giải lưu lượng: 0,1% trên Toàn thang đo

Độ chính xác lưu lượng: ± 1,0% giá trị đọc> 20% Toàn thang đo; ± 0,2% Toàn thang đo (> 20% lưu lượng Toàn thang đo)

(bao gồm tính không tuyến tính, độ trễ và độ không lặp được tham chiếu đến 760 mmHg và 0°C)

Trọng lượng: <5 lbs (1,36 kg)

Tuân thủ: CE

Thang đo chi tiết vui lòng tham khảo tài liệu đính kèm!

Literature

Drawing