Đăng ký nhận chiết khấu độc quyền, cập nhật giá sỉ và tin sản phẩm mới nhất ngay tại hộp thư của bạn.
Bằng cách đăng ký, bạn đồng ý với Điều khoản dịch vụ và Chính sách bảo mật của chúng tôi.
Kết nối trực tiếp với đội ngũ chuyên gia của chúng tôi
Đăng ký nhận chiết khấu độc quyền, cập nhật giá sỉ và tin sản phẩm mới nhất ngay tại hộp thư của bạn.
Bằng cách đăng ký, bạn đồng ý với Điều khoản dịch vụ và Chính sách bảo mật của chúng tôi.
Kết nối trực tiếp với đội ngũ chuyên gia của chúng tôi

Loại: Nguồn Plasma từ xa RPS-CH24P1
Công suất đầu ra: 24 kW
Tần số RF: 400 kHz
Độ chính xác: ± 1% đến điểm đặt nguồn
Cấp khí trong quá trình đánh lửa: Ar
Đầu ra chất phản ứng hoạt động NF3: 1-25 slm 20T
Các khí tương thích: NF3, O2, N2, Ar
THD: <15%
Đầu nối nối khí đầu nạp: KF40
Đầu nối nối khí đầu xả: KF50
Yêu cầu nước làm mát: Đầu kết nối từ xa: 3 gpm (11,36 Lpm)
Nguồn điện DC: 2 gpm (7,57 Lpm)
Giao tiếp: Analog: DB25
Kỹ thuật số: EtherCAT
Yêu cầu nguồn điện: 208 V, 3 pha 50/60 Hz, pha tối đa 75 Amps RMS
Kích thước:
- Đầu kết nối từ xa: 22.02 x 10.76 x 11.1 in. (55.93 x 27.33 x 28.19 cm)
- Nguồn điện: 21.24 x 19.00 x 7.0 in. (53.95 x 48.26 x 17.78 cm)
Trọng lượng:
- Đầu kết nối từ xa: 100 lbs. (45,36 kg)
- Nguồn cấp: 62 lbs. (28,12 kg)
Tuân thủ: SEMI F47