Đăng ký nhận chiết khấu độc quyền, cập nhật giá sỉ và tin sản phẩm mới nhất ngay tại hộp thư của bạn.
Bằng cách đăng ký, bạn đồng ý với Điều khoản dịch vụ và Chính sách bảo mật của chúng tôi.
Kết nối trực tiếp với đội ngũ chuyên gia của chúng tôi
Loại: Nguồn Plasma từ xa RPS-CH24P1
Công suất đầu ra: 24 kW
Tần số RF: 400 kHz
Độ chính xác: ± 1% đến điểm đặt nguồn
Cấp khí trong quá trình đánh lửa: Ar
Đầu ra chất phản ứng hoạt động NF3: 1-25 slm 20T
Các khí tương thích: NF3, O2, N2, Ar
THD: <15%
Đầu nối nối khí đầu nạp: KF40
Đầu nối nối khí đầu xả: KF50
Yêu cầu nước làm mát: Đầu kết nối từ xa: 3 gpm (11,36 Lpm)
Nguồn điện DC: 2 gpm (7,57 Lpm)
Giao tiếp: Analog: DB25
Kỹ thuật số: EtherCAT
Yêu cầu nguồn điện: 208 V, 3 pha 50/60 Hz, pha tối đa 75 Amps RMS
Kích thước:
- Đầu kết nối từ xa: 22.02 x 10.76 x 11.1 in. (55.93 x 27.33 x 28.19 cm)
- Nguồn điện: 21.24 x 19.00 x 7.0 in. (53.95 x 48.26 x 17.78 cm)
Trọng lượng:
- Đầu kết nối từ xa: 100 lbs. (45,36 kg)
- Nguồn cấp: 62 lbs. (28,12 kg)
Tuân thủ: SEMI F47
