Nguồn Plasma kết nối từ xa MKS RPS-CH24P1-P24C (24 kW)

Loại: Nguồn Plasma từ xa RPS-CH24P1

Công suất đầu ra: 24 kW

Tần số RF: 400 kHz

Độ chính xác: ± 1% đến điểm đặt nguồn

Cấp khí trong quá trình đánh lửa: Ar

Đầu ra chất phản ứng hoạt động NF3: 1-25 slm 20T

Các khí tương thích: NF3, O2, N2, Ar

THD: <15%

Đầu nối nối khí đầu nạp: KF40

Đầu nối nối khí đầu xả: KF50

Yêu cầu nước làm mát: Đầu kết nối từ xa: 3 gpm (11,36 Lpm)

Nguồn điện DC: 2 gpm (7,57 Lpm)

Giao tiếp: Analog: DB25

Kỹ thuật số: EtherCAT

Yêu cầu nguồn điện: 208 V, 3 pha 50/60 Hz, pha tối đa 75 Amps RMS

Kích thước:

- Đầu kết nối từ xa: 22.02 x 10.76 x 11.1 in. (55.93 x 27.33 x 28.19 cm)

- Nguồn điện: 21.24 x 19.00 x 7.0 in. (53.95 x 48.26 x 17.78 cm)

Trọng lượng:

- Đầu kết nối từ xa: 100 lbs. (45,36 kg)

- Nguồn cấp: 62 lbs. (28,12 kg)

Tuân thủ: SEMI F47

Literature

Drawing