Đăng ký nhận chiết khấu độc quyền, cập nhật giá sỉ và tin sản phẩm mới nhất ngay tại hộp thư của bạn.
Bằng cách đăng ký, bạn đồng ý với Điều khoản dịch vụ và Chính sách bảo mật của chúng tôi.
Kết nối trực tiếp với đội ngũ chuyên gia của chúng tôi
Loại: Nguồn Plasma kết nối từ xa RPS-CM12P1
Công suất đầu ra: 12 kW, 3 pha 50/60 Hz, pha tối đa 40 Amps RMS
Tần số RF: 400 kHz
Độ chính xác: ± 1% đến điểm đặt nguồn
Cấp khí trong quá trình đánh lửa: Ar
Khí xử lý NF3: 1-12 slm, 1-10 T
Đầu ra chất phản ứng hoạt động NF3: 1-12 slm
THD:> 15%
Đầu kết nối khí đầu nạp: KF40
Đầu kết nối khí đầu xả: KF50 hoặc KF40
Giao tiếp: Analog: DB25
Kỹ thuật số: EtherCAT
Kích thước: 18.4 x 9.5 x 10.5 in. (46.73 x 24.13 x 26.67cm)
Trọng lượng: 73 lbs. (33,11 kg)
Tuân thủ: SEMI F47
