Nguồn plasma kết nối từ xa cho buồng thử ALD, CVD, PVD MKS RPS-CM12P1-P12C (12kW)

Loại: Nguồn Plasma kết nối từ xa RPS-CM12P1

Công suất đầu ra: 12 kW, 3 pha 50/60 Hz, pha tối đa 40 Amps RMS

Tần số RF: 400 kHz

Độ chính xác: ± 1% đến điểm đặt nguồn

Cấp khí trong quá trình đánh lửa: Ar

Khí xử lý NF3: 1-12 slm, 1-10 T

Đầu ra chất phản ứng hoạt động NF3: 1-12 slm

THD:> 15%

Đầu kết nối khí đầu nạp: KF40

Đầu kết nối khí đầu xả: KF50 hoặc KF40

Giao tiếp: Analog: DB25

Kỹ thuật số: EtherCAT

Kích thước: 18.4 x 9.5 x 10.5 in. (46.73 x 24.13 x 26.67cm)

Trọng lượng: 73 lbs. (33,11 kg)

Tuân thủ: SEMI F47

Literature

Drawing