Thiết bị phân tích khí dư cho ALD & CVD MKS VISION-2000-A (1-100; 1-200; 1-300 amu)

Phạm vi khối lượng: 1-100, 1-200, 1-300 amu

Nguồn ion: Nguồn ion kín độ dẫn cao

Sợi Filaments: Các sợi vonfram đôi hoặc Thoria có thể thay thế độc lập

Bộ lọc khối lượng: Kép (bộ lọc trước "chỉ RF" 1 inch với bộ lọc chính 4 inch)

Đầu dò: Kép (Faraday và hệ số nhân electron thứ cấp)

Áp suất hoạt động tối đa của máy phân tích: 1e^-3 Torr tại đầu vào nguồn ion (tiêu chuẩn), tùy chọn áp suất cao hơn

Áp suất một phần tối thiểu có thể dò: <2e^-12 Torr (đối với tổng áp suất <1e^-4 Torr trên đầu vào cơ bản)

Ổn định khối lượng:>± 0,1 amu trong >8 giờ

Độ phân giải: >10% độ uốn cho các đỉnh có chiều cao bằng nhau trong phạm vi khối lượng

Nhiệt độ hoạt động: 70°C (được kiểm soát đến ± 1°C)

Trọng lượng: 33 lbs. (15 kg) để kết nối vào hệ thống quy trình

Hỗ trợ cơ học: Có sẵn tùy chọn các đế và giá đỡ

Khí nén: 60-80 psig CDA

Trọng lượng thiết bị điện tử trên mặt bích: 1,7 kg

Yêu cầu nguồn điện: 88-264 VAC, 47/63 Hz, 600 Watts

Giao tiếp: Ethernet, CAT-5e

Trọng lượng vận chuyển: 132 lbs (60 Kg) có thể thay đổi tùy theo yêu cầu của máy bơm và giá đỡ thiết bị

Tuân thủ: CE, UKCA

Literature

Drawing