Đăng ký nhận chiết khấu độc quyền, cập nhật giá sỉ và tin sản phẩm mới nhất ngay tại hộp thư của bạn.
Bằng cách đăng ký, bạn đồng ý với Điều khoản dịch vụ và Chính sách bảo mật của chúng tôi.
Kết nối trực tiếp với đội ngũ chuyên gia của chúng tôi
Kích thước vỏ
Rộng x Sâu x Cao – Footprint: 680x1127x1890 (26.77x62.3x74.4 in.)
Trọng lượng tịnh: 485 kg (1069 lbs.)
Khoảng cách thiết bị: Bên phải, bên trái – 153 mm (6 in.), phía trước – 680 mm (27 in.), phía sau – min 483 mm (19 in.)
Buồng
Thể tích tối đa: 127 lít (7774 in³)
Cấu hình điện cực thay đổi: Nguồn-Đất, Nguồn-Đất, Nguồn-Nguồn
Số vị trí điện cực: 14
Bước điện cực:
25.4 mm (1 in.) cho 600 W
50.8 mm (2 in.) cho 1000 W
Điện cực (WxD)
Khu vực làm việc có nguồn: 349x425 mm (13.74x16.73 in.)
Khu vực làm việc có lỗ/đất: 384x425 mm (15.12x16.73 in.)
Khu vực làm việc nổi: 349x425 mm (13.74x16.73 in.)
RF
Công suất tiêu chuẩn: 600 W
Tần số: 13.56 MHz
Kiểm soát khí
Lượng lưu lượng có sẵn: 100, 250, 500, or 1000 sccm
Số lượng MFC tối đa: 3
Hệ thống điều khiển và giao diện
Điều khiển phần mềm: Điều khiển EPC với giao diện màn hình cảm ứng
Giao diện từ xa: PlasmaLINK, ProcessLINK, SECS/GEM
Bơm chân không Bơm ướt tiêu chuẩn: 53 cfm với bộ loại bỏ sương dầu oxy
Bơm khô thanh lọc tùy chọn: 63 cfm
Lưu lượng bơm thanh lọc N2: 14 slm
