Đăng ký nhận chiết khấu độc quyền, cập nhật giá sỉ và tin sản phẩm mới nhất ngay tại hộp thư của bạn.
Bằng cách đăng ký, bạn đồng ý với Điều khoản dịch vụ và Chính sách bảo mật của chúng tôi.
Kết nối trực tiếp với đội ngũ chuyên gia của chúng tôi
Kích thước vỏ
Rộng x Sâu x Cao – Footprint: 569 x 869 x 704 mm (22x34x28 in.)
Trọng lượng tịnh: 221 kg (487 lbs)
Khoảng cách thiết bị: Phải, Trái, Trước – 569 mm (22 in.), Sau – 254 mm (10 in.)
Buồng
Thể tích tối đa: 50.4 lít (3076 in³)
Cấu hình điện cực thay đổi: Nguồn-Đất, Nguồn-Đất, Nguồn-Nguồn
Số vị trí điện cực: 7
Bước điện cực: 25.4 mm (1 in.)
Điện cực (WxD)
Khu vực làm việc có nguồn: 330 x 330 mm (13 x 13 in.)
Khu vực làm việc có lỗ/đất: 368 x 330 mm (14.5 x 13 in.)
Khu vực làm việc nổi: 330 x 330 mm (13 x 13 in.)
RF
Công suất tiêu chuẩn: 600 W
Tần số: 13.56 MHz
Kiểm soát khí
Lượng lưu lượng có sẵn: 10, 25, 50, 100, 250 hoặc 500 sccm
Số lượng MFC tối đa: 3
Hệ thống điều khiển và giao diện
Điều khiển phần mềm: Điều khiển EPC với giao diện màn hình cảm ứng
Giao diện từ xa: PlasmaLINK, ProcessLINK
Bơm chân không Bơm ướt tiêu chuẩn: 19.5 cfm với bộ loại bỏ sương dầu oxy
Bơm khô thanh lọc tùy chọn: 22 cfm
Lưu lượng bơm thanh lọc N2: 2 slm
