Máy xử lý plasma Nordson FlexTRAK-CD (5.5 lít)

Kích thước vỏ máy: Rộng x Sâu x Cao – Diện tích: 1068x1166x1600; 1966 mm kèm tháp đèn (tháp đèn 42x46x63; 77 in.)

Trọng lượng tịnh: 430 kg (948 lbs.)

Khoảng cách thiết bị Bên phải, Bên trái, Phía sau – 254 mm (10 in.), Phía trước – 940 mm (37 in.)

Thể tích tối đa của buồng: 5.5 lít (338 in³)

Điện cực:

Cấu hình điện cực thay đổi: Nguồn-Mặt đất, Nguồn-Mặt đất, Nguồn-Nguồn

Khu vực làm việc: 305W x 305D mm (12W x 12D in.)

Công suất RF:

Công suất tiêu chuẩn: 600 W

Tần số: 13.56 MHz

Kiểm soát khí:

Thể tích lưu lượng khả dụng: 50, 100 hoặc 250 sccm

Số lượng MFC tối đa: 3

Hệ thống điều khiển và Giao diện

Phần mềm điều khiển: EPC với giao diện màn hình cảm ứng dựa trên PC

Giao diện từ xa: SMEMA, SECS/GEM

Bơm chân không: Bơm khô thanh lọc tiêu chuẩn: 16 cfm

Lưu lượng bơm thanh lọc N2: 2 slm

Brochure