Đăng ký nhận chiết khấu độc quyền, cập nhật giá sỉ và tin sản phẩm mới nhất ngay tại hộp thư của bạn.
Bằng cách đăng ký, bạn đồng ý với Điều khoản dịch vụ và Chính sách bảo mật của chúng tôi.
Kết nối trực tiếp với đội ngũ chuyên gia của chúng tôi
Kích thước vỏ máy: Rộng x Sâu x Cao – Diện tích: 190x1320x1640; 2114 mm kèm tháp đèn (tháp đèn 47x52x65; 83 in.)
Trọng lượng tịnh: 550 kg (1213 lbs.)
Khoảng cách thiết bị Bên phải, Bên trái, Phía sau – 254 mm (10 in.), Phía trước – 940 mm (37 in.)
Thể tích tối đa của buồng: 9.6 liters (585 in³)
Điện cực:
Cấu hình điện cực thay đổi: Nguồn-Mặt đất, Nguồn-Mặt đất, Nguồn-Nguồn
Khu vực làm việc: 305W x 550D mm (12W x 21D in.)
Công suất RF:
Công suất tiêu chuẩn: 600 W
Tần số: 13.56 MHz
Kiểm soát khí:
Thể tích lưu lượng khả dụng: 50, 100 hoặc 250 sccm
Số lượng MFC tối đa: 3
Hệ thống điều khiển và Giao diện
Phần mềm điều khiển: EPC với giao diện màn hình cảm ứng dựa trên PC
Giao diện từ xa: SMEMA, SECS/GEM
Bơm chân không: Bơm khô thanh lọc tiêu chuẩn: 16 cfm
Lưu lượng bơm thanh lọc N2: 2 slm
