Đăng ký nhận chiết khấu độc quyền, cập nhật giá sỉ và tin sản phẩm mới nhất ngay tại hộp thư của bạn.
Bằng cách đăng ký, bạn đồng ý với Điều khoản dịch vụ và Chính sách bảo mật của chúng tôi.
Kết nối trực tiếp với đội ngũ chuyên gia của chúng tôi
Đăng ký nhận chiết khấu độc quyền, cập nhật giá sỉ và tin sản phẩm mới nhất ngay tại hộp thư của bạn.
Bằng cách đăng ký, bạn đồng ý với Điều khoản dịch vụ và Chính sách bảo mật của chúng tôi.
Kết nối trực tiếp với đội ngũ chuyên gia của chúng tôi

Kích thước vỏ máy: Rộng x Sâu x Cao – Diện tích: 190x1320x1640; 2114 mm kèm tháp đèn (tháp đèn 47x52x65; 83 in.)
Trọng lượng tịnh: 550 kg (1213 lbs.)
Khoảng cách thiết bị Bên phải, Bên trái, Phía sau – 254 mm (10 in.), Phía trước – 940 mm (37 in.)
Thể tích tối đa của buồng: 9.6 liters (585 in³)
Điện cực:
Cấu hình điện cực thay đổi: Nguồn-Mặt đất, Nguồn-Mặt đất, Nguồn-Nguồn
Khu vực làm việc: 305W x 550D mm (12W x 21D in.)
Công suất RF:
Công suất tiêu chuẩn: 600 W
Tần số: 13.56 MHz
Kiểm soát khí:
Thể tích lưu lượng khả dụng: 50, 100 hoặc 250 sccm
Số lượng MFC tối đa: 3
Hệ thống điều khiển và Giao diện
Phần mềm điều khiển: EPC với giao diện màn hình cảm ứng dựa trên PC
Giao diện từ xa: SMEMA, SECS/GEM
Bơm chân không: Bơm khô thanh lọc tiêu chuẩn: 16 cfm
Lưu lượng bơm thanh lọc N2: 2 slm