Máy xử lý plasma Nordson FlexTRAK (5.5 lít)

Kích thước vỏ máy: Rộng x Sâu x Cao – Diện tích: 382x1210x1595 mm; 2037 mm kèm tháp đèn (tháp đèn 15 x 47.6 x 62.8 in.; 80.2 in.)

Trọng lượng tịnh: 275 kg (605 lbs.)

Khoảng cách thiết bị: Bên phải, bên trái – 153 mm (6 in), Phía trước, phía sau – 914 mm (36 in)

Thể tích tối đa của buồng: 5.5 lít (338 in³)

Điện cực:

Cấu hình điện cực thay đổi: Nguồn-Mặt đất, Nguồn-Mặt đất, Nguồn-Nguồn

Khu vực làm việc: 305W x 305D mm (12W x 12D in.)

Công suất RF:

Công suất tiêu chuẩn: 600 W

Tần số: 13.56 MHz

Kiểm soát khí:

Thể tích lưu lượng khả dụng: 50, 100 hoặc 250 sccm

Số lượng MFC tối đa: 3

Hệ thống điều khiển và Giao diện

Phần mềm điều khiển: EPC với giao diện màn hình cảm ứng dựa trên PC

Giao diện từ xa: SMEMA, SECS/GEM

Bơm chân không: Bơm khô thanh lọc tiêu chuẩn: 16 cfm

Lưu lượng bơm thanh lọc N2: 2 slm

Brochure