Đăng ký nhận chiết khấu độc quyền, cập nhật giá sỉ và tin sản phẩm mới nhất ngay tại hộp thư của bạn.
Bằng cách đăng ký, bạn đồng ý với Điều khoản dịch vụ và Chính sách bảo mật của chúng tôi.
Kết nối trực tiếp với đội ngũ chuyên gia của chúng tôi
Kích thước vỏ máy: Rộng x Sâu x Cao – Diện tích: 382x1210x1595 mm; 2037 mm kèm tháp đèn (tháp đèn 15 x 47.6 x 62.8 in.; 80.2 in.)
Trọng lượng tịnh: 275 kg (605 lbs.)
Khoảng cách thiết bị: Bên phải, bên trái – 153 mm (6 in), Phía trước, phía sau – 914 mm (36 in)
Thể tích tối đa của buồng: 5.5 lít (338 in³)
Điện cực:
Cấu hình điện cực thay đổi: Nguồn-Mặt đất, Nguồn-Mặt đất, Nguồn-Nguồn
Khu vực làm việc: 305W x 305D mm (12W x 12D in.)
Công suất RF:
Công suất tiêu chuẩn: 600 W
Tần số: 13.56 MHz
Kiểm soát khí:
Thể tích lưu lượng khả dụng: 50, 100 hoặc 250 sccm
Số lượng MFC tối đa: 3
Hệ thống điều khiển và Giao diện
Phần mềm điều khiển: EPC với giao diện màn hình cảm ứng dựa trên PC
Giao diện từ xa: SMEMA, SECS/GEM
Bơm chân không: Bơm khô thanh lọc tiêu chuẩn: 16 cfm
Lưu lượng bơm thanh lọc N2: 2 slm
