Đăng ký nhận chiết khấu độc quyền, cập nhật giá sỉ và tin sản phẩm mới nhất ngay tại hộp thư của bạn.
Bằng cách đăng ký, bạn đồng ý với Điều khoản dịch vụ và Chính sách bảo mật của chúng tôi.
Kết nối trực tiếp với đội ngũ chuyên gia của chúng tôi
Đăng ký nhận chiết khấu độc quyền, cập nhật giá sỉ và tin sản phẩm mới nhất ngay tại hộp thư của bạn.
Bằng cách đăng ký, bạn đồng ý với Điều khoản dịch vụ và Chính sách bảo mật của chúng tôi.
Kết nối trực tiếp với đội ngũ chuyên gia của chúng tôi

Kích thước vỏ
W x D x H – Footprint:
2314 W x 1935 D x 1787 H mm (2293 H mm có tháp đèn)
91.1 W x 76.2 D x 70.5 H in (90.3 H in có tháp đèn)
Trọng lượng tịnh: 1305 kg (2,871 lbs)
Footprint hiệu quả – Khoảng cách: Tất cả các mặt – 700 mm (27.6 in)
Buồng: Thể tích: Buồng F3-S: 9.6 lít (585 in³)
Buồng F3: 5.5 lít (338 in³)
Điện cực: Kích thước điện cực được cấp nguồn:
Buồng F3-S: 305 W x 610 D mm / 12 W x 24 D in.
Buồng F3: 305 W x 305 D mm / 12 W x 12 D in.
RF Công suất:
Công suất tiêu chuẩn: Buồng F3-S: 1000 W
Tần số: 13.56 MHz
Kiểm soát khí: Số lượng MFC tối đa: 3
Hệ thống điều khiển: Giao diện: EPC với giao diện màn hình cảm ứng dựa trên PC
Giao diện từ xa: Truyền thông: SECS/GEM, HMI từ xa
Bơm chân không:
Bơm khô thanh lọc tiêu chuẩn: 16 CFM, Biến tần
Lưu lượng bơm thanh lọc N2: 2 SLM