Đăng ký nhận chiết khấu độc quyền, cập nhật giá sỉ và tin sản phẩm mới nhất ngay tại hộp thư của bạn.
Bằng cách đăng ký, bạn đồng ý với Điều khoản dịch vụ và Chính sách bảo mật của chúng tôi.
Kết nối trực tiếp với đội ngũ chuyên gia của chúng tôi
Kích thước vỏ
W x D x H – Footprint:
2314 W x 1935 D x 1787 H mm (2293 H mm có tháp đèn)
91.1 W x 76.2 D x 70.5 H in (90.3 H in có tháp đèn)
Trọng lượng tịnh: 1305 kg (2,871 lbs)
Footprint hiệu quả – Khoảng cách: Tất cả các mặt – 700 mm (27.6 in)
Buồng: Thể tích: Buồng F3-S: 9.6 lít (585 in³)
Buồng F3: 5.5 lít (338 in³)
Điện cực: Kích thước điện cực được cấp nguồn:
Buồng F3-S: 305 W x 610 D mm / 12 W x 24 D in.
Buồng F3: 305 W x 305 D mm / 12 W x 12 D in.
RF Công suất:
Công suất tiêu chuẩn: Buồng F3-S: 1000 W
Tần số: 13.56 MHz
Kiểm soát khí: Số lượng MFC tối đa: 3
Hệ thống điều khiển: Giao diện: EPC với giao diện màn hình cảm ứng dựa trên PC
Giao diện từ xa: Truyền thông: SECS/GEM, HMI từ xa
Bơm chân không:
Bơm khô thanh lọc tiêu chuẩn: 16 CFM, Biến tần
Lưu lượng bơm thanh lọc N2: 2 SLM
