Máy xử lý plasma Nordson FlexTRAK-SHS (9.6 liters)

Kích thước vỏ

W x D x H – Footprint:

2314 W x 1935 D x 1787 H mm (2293 H mm có tháp đèn)

91.1 W x 76.2 D x 70.5 H in (90.3 H in có tháp đèn)

Trọng lượng tịnh: 1305 kg (2,871 lbs)

Footprint hiệu quả – Khoảng cách: Tất cả các mặt – 700 mm (27.6 in)

Buồng: Thể tích: Buồng F3-S: 9.6 lít (585 in³)

Buồng F3: 5.5 lít (338 in³)

Điện cực: Kích thước điện cực được cấp nguồn:

Buồng F3-S: 305 W x 610 D mm / 12 W x 24 D in.

Buồng F3: 305 W x 305 D mm / 12 W x 12 D in.

RF Công suất:

Công suất tiêu chuẩn: Buồng F3-S: 1000 W

Tần số: 13.56 MHz

Kiểm soát khí: Số lượng MFC tối đa: 3

Hệ thống điều khiển: Giao diện: EPC với giao diện màn hình cảm ứng dựa trên PC

Giao diện từ xa: Truyền thông: SECS/GEM, HMI từ xa

Bơm chân không:

Bơm khô thanh lọc tiêu chuẩn: 16 CFM, Biến tần

Lưu lượng bơm thanh lọc N2: 2 SLM

Brochure