Máy xử lý plasma Nordson StratoSPHERE (5.5 lít)

Kích thước vỏ máy: Rộng x Sâu x Cao – footprint: 1405x615x1742 mm (55x103x69 in)

Trọng lượng tịnh: 480 kg (1058 lbs)

Module vận hành EFEM: 640 kg (1411 lbs)

Khoảng cách thiết bị: phía trước – 153 mm (6 in), phía sau – 380 mm (15 in), bên phải/trái – 775 mm (30.5 in)

Thể tích tối đa của buồng: 5.5 lít (338 in³)

Cấu hình chuck: kích thước đế 200 mm và 300 mm

Điện cực:

Cấu hình điện cực thay đổi: Nguồn-Mặt đất, Nguồn-Mặt đất, Nguồn-Nguồn

Khu vực làm việc: 305W x 305D mm (12W x 12D in.)

Công suất RF:

Công suất tiêu chuẩn: 600 W

Tần số: 13.56 MHz

Kiểm soát khí:

Thể tích lưu lượng khả dụng: 50, 100 hoặc 250 sccm

Số lượng MFC tối đa: 3

Hệ thống điều khiển và Giao diện

Phần mềm điều khiển: EPC với giao diện màn hình cảm ứng dựa trên PC

Giao diện từ xa: SMEMA, SECS/GEM

Bơm chân không:

Bơm khô thanh lọc tiêu chuẩn: 16 cfm

Bơm khô thanh lọc tùy chọn: 16 cfm

Lưu lượng bơm thanh lọc N2: 2 slm

Brochure