Hệ thống quang khắc OAI 200

Bàn máy: Hành trình trục X, Y: ±10mm

Hành trình trục Z: 1.500 micron

Micromet: 0.001"; 0.0001"

Độ chia: hoặc 0.01mm; 0.001mm

Xoay: ± 3.5˚

Mask: Kích thước: Lên tới 9" x 9"

Nguồn sáng: Kích thước chùm tia: Lên tới 8" vuông

Công suất đèn: 200, 350, 500, 1.000 và 2.000 Watt NUV 500, 1.000 và 2.000 Watt DUV

Bộ hẹn giờ màn trập: Hẹn giờ: 0.1 đến 99.0 giây. với khoảng tăng 0.1 giây hoặc từ 1 đến 999 giây. với khoảng tăng 1 giây

Cơ sở vật chất: Điện: 110 hoặc 220VAC

Chân không 20 - 28” Hg.

Không khí và N2 CDA ở 60 PSI và N2at 40 PSI

Ống xả từ 0.35” đến 0.5”

Trọng lượng: 250Lbs

Kích thước (H x W x D): 37 x 31 x 25" (940 x 788 x 635mm)

Datasheet