Hệ thống quang khắc OAI 212

Kích thước bề mặt: Lên tới 12” vuông hoặc 300mm

Bề mặt:

Hành trình X, Y: ±10 mm

Hành trình Z: 5mm

Micromet: .001”; .0001”

Chia độ: hoặc 0.01mm; 0.001mm

Xoay: ± 3.5˚

Mặt nạ: Kích thước: Lên tới 14” x 14”

Nguồn sáng:

Kích thước chùm tia: Lên tới 12 inch vuông

Công suất đèn: 200, 350, 500, 1.000 và 2.000 Watt NUV 500, 1.000 và 2.000 Watt DUV

Hẹn giờ màn trập: Hẹn giờ: 0.1 đến 99.0 giây với khoảng tăng 0.1 giây hoặc 1.0 đến 999 giây với mức tăng 1.0 giây

Cơ sở vật chất: Điện:

110 hoặc 220 vac (hoặc khác theo yêu cầu Nguồn điện và Quốc gia)

Chân không: 20 - 28” Hg.

Không khí và N2: CDA ở 60 PSI và N2at 20 PSI

Ống xả: Nước 0.35” đến 0.5”

Kích thước:

Chiều cao: 42” (1067mm)

Chiều rộng: 60” (1524mm)

Độ sâu: 53” (1346mm)

Datasheet