Hệ thống lập bản đồ độ dày wafer Santec TMS-2000 (1 nm)

1. Độ chính xác cao

Đo lường có độ chính xác cao bằng kỹ thuật phát hiện giao thoa kế (độ lặp lại 1nm)

2. Thông số tiêu chuẩn ngành

Có thể phân tích Toàn cầu (GFLR, GFLD, GBIR), Trang web (SFQR, SFQD, SBIR), Biên (ESFQR)

3. Khả năng chống chịu môi trường cao

Không cần có biện pháp kiểm soát nhiệt độ hoặc chống rung do độ bền môi trường

Yếu tố hình thức nhỏ phù hợp cho nhiều ứng dụng

4. Kích thước nhỏ gọn

Phần mềm phân tích

Phân tích vị trí đo độ dày Phân tích cạnh

5. Tốc độ cao

Quét xoắn ốc (Tốc độ cao, mật độ cao)

Lưu ý: Khách hàng nên đọc kỹ Datasheet để chọn đúng mã đặt hàng đáp ứng yêu cầu sử dụng của mình.

Datasheet