Thiết bị kiểm tra khuyết tật linh kiện bán dẫn

Hệ thống kiểm tra khuyết tật trên linh kiện bán dẫn SPIROX MA6503D (300μm ~ 2000μm, wafer 8 và 12 inch)

Hệ thống kiểm tra vĩ mô SPIROX MA6500 (300μm ~ 2000μm, wafer 8 và 12 inch)

Hệ thống kiểm tra loại bỏ khuyết tật của linh kiện bán dẫn SPIROX SP3055A (2” 4” 6” 8”, 300 μm - 550 μm)

Máy quét laser cộng hưởng SPIROX SP8000A (50X FOV 200μm x 200μm)