Lợi ích vượt trội cho cả thiết kế và sản xuất
Độ chính xác cực cao và lặp lại ổn định – 30 nm PV (3σ)
Độ ổn định tốt nhất hiện có – sai lệch công suất (Power variation) < ±15 nm (3σ), sai lệch PV < ±1.5 nm (3σ)
Phân tích các đặc tính hình học – ví dụ như các chốt liên kết (interlocks) và đường kính mép trong mối tương quan với nhau hoặc với bề mặt quang học
Các đế trong suốt mỏng – có thể đo được đến độ dày 100 µm
Tốc độ đo nhanh cho phép đo 3D thực –
< 120 giây: đo bề mặt quang học và các đặc tính hình học*
< 60 giây: chỉ đo bề mặt quang học**