Máy quét mục tiêu Piezo và Bộ điều khiển được ghép nối THORLABS PFM450E

Thông số kỹ thuật máy quét vật kính Piezo (a)

Phạm vi di chuyển vòng hở: 600 µm ± 10%

Phạm vi di chuyển vòng kín: 450 µm

Độ phân giải vòng lặp mở: 1 nm

Độ phân giải vòng lặp kín: 3 nm

Khẩu độ rõ ràng tối đa (b): Ø29,0 mm (Ø1,14")

Đường kính vật kính tối đa: 38,4 mm (1,51")

Tải trọng tối đa (c): 500 g (1,1 lbs)

Cài đặt thời gian: 25 ms (Thông thường) cho các bước 1 - 100 µm

Tần số cộng hưởng: 120 Hz ± 20% cho 150 g tải

Sai số tuyến tính vị trí: ± 0,05%

Góc nghiêng: Trục X (d) : ± 35 µrad. Trục Y (e): ± 15 µrad

Điện dung: 8,0 µF ± 15%

Chiều dài cáp: 6 ft (2 m)

Kích thước: 2,72"x 2,36" x 1,38"(69,0 mm x 60,0 mm x 35,0 mm)

Trọng lượng: 380 g (0,84 lbs)

Nhiệt độ hoạt động: 5 đến 40°C

(a) Danh sách đầy đủ các thông số kỹ thuật có sẵn trong sách hướng dẫn (liên kết PDF).

(b) Khẩu độ rõ ràng được thiết lập bởi bộ điều hợp kính hiển vi và đạt đến tối đa là Ø29,0 mm khi sử dụng bộ chuyển đổi M32 x 0,75.

(c) Trọng tâm của tải phải càng gần máy quét càng tốt để có hiệu suất tốt nhất.

(d) Trục X song song với kích thước 2,72"(69,0 mm) trong hình vẽ bên dưới.

(e) Trục Y song song với kích thước 2,36"(60,0 mm) trong hình vẽ bên dưới.

Thông số kỹ thuật bộ điều khiển (a)

Áp điện đầu ra

Dải điện áp Drive : -30 V đến +150 V

Ổn định điện áp Drive: 100 ppm trong 24 giờ (Sau 30 phút khởi động)

Độ nhiễu điện áp Drive: <0,5 mV (RMS) (b)

Dòng điện đầu ra: 150 mA

BNC đầu vào bên ngoài

Dải điện áp đầu vào (c): -10 V đến +10 V

- Vòng lặp mở: Đầu vào 1 V = 15 V Drive Voltage

- Vòng lặp đóng: Đầu vào 1 V = 45 µm Độ dịch chuyển

Trở kháng đầu vào: 10 kΩ

Điện áp đầu vào tối đa tuyệt đối: ± 20 VDC

BNC đầu ra bên ngoài

Dải điện áp đầu ra: 0 V đến +10 V. Đầu ra Phản hồi chưa xử lý, Phản hồi tuyến tính hoặc Tín hiệu tỷ lệ với điện áp truyền động; Có thể lựa chọn trong Phần mềm

Trở kháng đầu ra: 100 Ω

Trở kháng đầu ra khuyến nghị tối thiểu: 10 kΩ

Thông số vật lý

Công suất đầu vào (d):

- Điện áp đầu vào: 24 VDC ± 5%

- Dòng điện đầu vào: <2 A

Kích thước: 205,0 mm x 147,0 mm x 68,3 mm (8,07"x 5,79" x 2,69")

Trọng lượng: 1,65 kg (3,63 lbs)

Phạm vi nhiệt độ hoạt động: 5 đến 40°C

(a) Danh sách đầy đủ các thông số kỹ thuật có sẵn trong sách hướng dẫn (liên kết PDF).

(b) Băng thông đo lường: 20 Hz - 100 kHz

(c) Điện áp Drive hoặc dịch chuyển mục tiêu được xác định bởi điện áp đầu vào được thêm vào giá trị được đặt trong APT GUI. Xem tab Phần mềm & Điều khiển Bên ngoài để biết chi tiết.

(d) Một dây nguồn dành riêng cho PFM450E.

MANUAL: