Hệ thống PECVD TOB TOB-DSP-1200℃-PECVD-I (1200℃,3KW,10 -1Pa)

Công suất: 3KW

Kích thước ống lò (mm): Dia 60(OD) X1800mm

Kích thước: 1800X410X610

Nguồn: 220V

Số pha: Một pha

Chế độ điều khiển

1.Điều khiển nhiệt độ Yudian: chỉ sử dụng nguyên lý điều khiển nhiệt độ PID cho 30 phần.

2.Điều khiển nhiệt độ FP93 (Công nghệ Nhật Bản)Chế độ điều khiển nhiệt độ

Chế độ điều chỉnh nhiệt độ: Điều chỉnh thông minh PID

Bảo vệ chập mạch và màn hình: Có

Bảo vệ quá nhiệt: Có

Bảo vệ quá dòng: Có

Độ chính xác điều chỉnh: +/- 1 ℃

Bộ khởi động: Bộ khởi động chuyển pha

SCR: 106 / 16E Germany Simon Kang

Miền nhiệt độ tối đa 1.2: 1200 ℃

Miền nhiệt độ định mức 1.2: 1150 ℃

Độ gia nhiệt: ≤30 ℃ / phút (có sẵn theo yêu cầu thay đổi)

Độ gia nhiệt đề xuất: ≤15 ℃ / phút

Kiểu cặp nhiệt điện: Kiểu K

Chiều dài miền gia nhiệt 1.2: 205mm

Nhiệt độ bề mặt xung quanh: ≤45℃

Công suất Plasma RF

Dải công suất đầu ra: 0-500W

Công suất phản xạ tối đa: 10W

Tần số tín hiệu: 13.56MHZ ± 0.005%

Độ ồn: <30 dB

Làm mát bằng khí: Phương pháp làm mát

Công suất đầu vào: 208-240V 50 / 60HZ

Thông số hệ thống cung cấp GX

Dải đo tiêu chuẩn

Bộ điều chỉnh lưu lượng proton 5,10,20,30,50,100,200,300,500SCCM, 1,2,3,5,10SLM

(tùy chọn thang đo)

Độ chính xác: ± 1.5%

Giảm áp suất: <0.01MPa

Độ lặp: ± 0.2% F.S

Áp suất vận hành tối đa: 3MP

Hệ thống thải VS-0.1

Nguồn: 220V / 380V 380W

Mức bơm 2L / S

Đồng hồ đo điện trở chân không: ZDR-I

Dải đo chân không: 0.1-10 5 Pa

Bơm chân không: VRD-8

Ống gấp khúc: KF25X1000mm

Hệ thống chân không: 10 -1Pa

Datasheet