Lò nung chân không TOB TOB-DSP-1200℃-PECVDS (1200℃,0.1-10 5Pa)

Công suất: 3.5 KW

Kích thước ống lò (mm): Dia 60(OD) X1200mm

Kích thước: 1300X420X1200

Nguồn: 220V

Số pha: Một pha

Chế độ điều khiển nhiệt độ

1.Điều khiển nhiệt độ Yudian: chỉ sử dụng nguyên lý điều khiển nhiệt độ PID cho 30 phần.

2.Điều khiển nhiệt độ FP93 (Công nghệ Nhật Bản)

Bộ khởi động: Bộ khởi động chuyển pha

SCR: 106 / 16E Germany Simon Kang

Nhiệt độ tối đa: 1200 °C

Nhiệt độ định mức: 1100 ℃

Độ gia nhiệt: ≤30 ℃/ phút (có sẵn theo yêu cầu thay đổi)

Độ chính xác điều chỉnh: +/- 1 ℃

Độ gia nhiệt đề xuất: ≤15℃/ phút

Chiều dài thiết bị gia nhiệt: 400mm

Kiểu cặp nhiệt điện: Kiểu K

Chứng chỉ: CE

Nhiệt độ bề mặt xung quanh: ≤45 ℃

Công suất động cơ quay: 40W

Công suất điện: 40W

Góc nghiêng lò: -10 ~30 độ

Độ quay ống: Tốc độ độ cơ có thể tùy chỉnh thay đổi liên tục 1-25 rev / phút

Công suất Plasma RF

Dải công suất đầu ra: 0-500W

Cong suất phản xạ tối đa: 10W

Tần số tín hiệu: 13.56MHZ ± 0.005%

Độ ồn:<30 dB

Làm mát bằng khí: Phương pháp làm mát

Công suất đầu vào: 208-240V 50 / 60HZ

Thông số kỹ thuật kệ thống cung cấp GX

Dải đo chuẩn: Độ điều chỉnh dòng proton 5,10,20,30,50,100,200,300,500SCCM,

1,2,3,5,10SLM

(tùy chọn thang đo)

Độ chính xác: ± 1.5%

Áp suất giảm: <0.01MPa

Độ lặp lại: ± 0.2% F.S

Áp suất vận hành tối đa: 3MP

Hệ thống xả VS-0.1

Nguồn: 220V / 380V 380W

Lưu lượng bơm: 2L / S

Đồng hồ đo điện trở chân không: ZDR-I

Dải đo chân không: 0.1-10 5 Pa

Bơm chân không: VRD-8

Ống cong: KF25X1000mm

Hệ thống chân không: 10 -1Pa

Datasheet