Máy làm sạch bằng Plasma Yamato PDC200 (300W)
Chế độ Plasma: RIE (chế độ DP option)
Cấu trúc điện cực: Tấm phẳng song song
Máy đo chân không: máy đo điện dung
Đầu ra tần số cao: Max 300W
Tần số dao động: 13.56MHz Quartz oscillator
Phương pháp cài đặt đầu ra: Cài đặt thủ công trên bảng điều khiển cảm ứng LCD
Phương pháp: Tự động điều chỉnh
Kích thước buồng: W400×D250×H150mm
Kích thước làm việc: W250×D170mm
Vật liệu buồng: Nhôm
Khí phản ứng: 2 hệ (Argon, Oxy)
Xả khí: Nitơ hoặc không khí khô
Kiểm soát lưu lượng khí phản ứng: Đồng hồ đo lưu lượng
Bơm chân không quay: 345L/phút. (Option)
Kích thước bên ngoài （W×D×H mm）: W540×D600×H600mm
Trọng lượng: xấp xỉ. 100kg
Nguồn điện: AC115V/AC220V 1 pha với máy hạ áp
Đăng ký nhận chiết khấu độc quyền, cập nhật giá sỉ và tin sản phẩm mới nhất ngay tại hộp thư của bạn.
Bằng cách đăng ký, bạn đồng ý với Điều khoản dịch vụ và Chính sách bảo mật của chúng tôi.
Kết nối trực tiếp với đội ngũ chuyên gia của chúng tôi