Máy làm sạch bằng Plasma Yamato PDC610 (600W)

Chế độ Plasma: chọn RIE/DP

Cấu trúc điện cực: Tấm phẳng song song độc lập 3-stage

Máy đo chân không: máy đo điện dung

Đầu ra tần số cao: Max 600W

Tần số dao động: 13.56MHz Quartz oscillator

Phương pháp cài đặt đầu ra: Cài đặt thủ công trên bảng điều khiển cảm ứng LCD

Phương pháp: Tự động điều chỉnh

Kích thước buồng: W350×D270×H300 mm

Kích thước làm việc: W250×D220mm 3 khay làm việc

Vật liệu buồng: Nhôm

Khí phản ứng: 2 hệ (Argon, Oxy)

Xả khí: Nitơ hoặc không khí khô

Bơm chân không quay: 345L/phút. (bao gồm)

Kích thước bên ngoài （W×D×H mm）: W600×D722×H700 mm

Trọng lượng: xấp xỉ. 170kg

Nguồn điện: AC220V ~ AC 415V 3 pha với máy hạ áp

Phụ kiện tiêu chuẩn: Bơm chân không quay×1 bộ, Bộ khử vết dầu×1 cái, Kẹp×3 cái, Vòng trung tâm×3 cái, Ống mềm×1 cái

Datasheet