Đăng ký nhận chiết khấu độc quyền, cập nhật giá sỉ và tin sản phẩm mới nhất ngay tại hộp thư của bạn.
Bằng cách đăng ký, bạn đồng ý với Điều khoản dịch vụ và Chính sách bảo mật của chúng tôi.
Kết nối trực tiếp với đội ngũ chuyên gia của chúng tôi
Chế độ Plasma: chọn RIE/DP
Cấu trúc điện cực: Tấm phẳng song song độc lập 3-stage
Máy đo chân không: máy đo điện dung
Đầu ra tần số cao: Max 600W
Tần số dao động: 13.56MHz Quartz oscillator
Phương pháp cài đặt đầu ra: Cài đặt thủ công trên bảng điều khiển cảm ứng LCD
Phương pháp: Tự động điều chỉnh
Kích thước buồng: W350×D270×H300 mm
Kích thước làm việc: W250×D220mm 3 khay làm việc
Vật liệu buồng: Nhôm
Khí phản ứng: 2 hệ (Argon, Oxy)
Xả khí: Nitơ hoặc không khí khô
Bơm chân không quay: 345L/phút. (bao gồm)
Kích thước bên ngoài （W×D×H mm）: W600×D722×H700 mm
Trọng lượng: xấp xỉ. 170kg
Nguồn điện: AC220V ~ AC 415V 3 pha với máy hạ áp
Phụ kiện tiêu chuẩn: Bơm chân không quay×1 bộ, Bộ khử vết dầu×1 cái, Kẹp×3 cái, Vòng trung tâm×3 cái, Ống mềm×1 cái
