Tủ phản ứng Plasma kiểu Barrel Yamato PR300 (100W×3)

Hệ thống: Chế độ DP, kiểu Barrel

Đầu ra tần số cao: Max. 300W (100W×3 buồng)

Tần số dao động: 13.56MHz

Phương pháp điều chỉnh: Hai trục thủ công

Buồng phản ứng: Pyrex Glassø64×160mm×3 buồng

Hệ thống khí phản ứng: 1 hệ thống (oxy), đồng hồ đo lưu lượng

Hệ thống điều khiển: Tự động giảm áp suất, van rò rỉ tự động

Chất liệu đường ống: SUS, Teflon, đồng và đồng thau

Phụ kiện: Đĩa mẫu (lớn và nhỏ)×1 mỗi cái, Kệ mẫu×1 cái, Vacuum grease×1 cái, Vòng chữ O cho buồng phản ứng×3 cái

Kích thước bên trong （φ×D mm）: -

Kích thước bên ngoài （W×D×H mm）: 438×520×556mm

Nguồn điện: AC115V/AC220V Một pha với máy hạ áp

Trọng lượng: 36kg

Datasheet