Tủ phản ứng Plasma kiểu Barrel Yamato PR510 (500W)

Hệ thống: Chế độ DP, kiểu Barrel

Đầu ra tần số cao: Max. 500W

Tần số dao động: 13.56MHz

Phương pháp điều chỉnh: tự động

Buồng phản ứng: Làm bằng thạch anh, ø215×305mm

Hệ thống khí phản ứng: Hệ thống đôi (O2/CF4)

Hệ thống điều khiển:Bảng điều khiển cảm ứng tự động

Chất liệu đường ống: SUS, Teflon

Đầu vào khí: 1/4 "swagelok

Đầu vào máy bơm chân không: NW25

Kích thước bên ngoài: W520×D630×H760mm

Nguồn điện: AC220V~AC415V ba pha với máy hạ áp

Trọng lượng: 70kg

Phụ kiện tiêu chuẩn: Vacuum grease×1 pc., Vòng chữ O cho buồng phản ứng×1 cái

Optional accessories:

Khung cho wafers (2, 3, 4, 5 inches)

Khung góc đa năng

Aluminum etching tunnel (tối đa φ180)

Bơm chân không (250L/phút trở lên)

Datasheet