Máy làm sạch bằng Plasma Yamato V1000 (1000~2000W)

Chế độ Plasma: DP/RIE

Tần số dao động: 13.56MHz

Công suất RF: 1,000 ~ 2,000W

Kích thước làm việc: 280W×280D mm Phẳng song song

Khí phản ứng: Kiểm soát lưu lượng khối lượng, 2 hệ thống + 1 cho xả khí

Bơm chân không: Đã bao gồm, Thể tích khí thải 1000L/phút

Thiết bị an toàn: Công tắc cửa, Khóa bảng điều khiển bên, Công tắc dừng khẩn cấp, Thiết bị ngăn ngừa quá nhiệt

Kích thước bên trong （W×D×H mm）: 400×400×380mm

Kích thước bên ngoài （W×D×H mm）: 700×800×1600mm

Nguồn điện: AC220V ~ AC 415V 3 pha với máy hạ áp

Trọng lượng: 1000kg

Datasheet