Máy làm sạch bằng Plasma Yamato V1000XS (1000W ~ 2,000W)

Chế độ Plasma: DP/RIE

Tần số dao động: 13.56MHz

Công suất RF: 1000W ~ 2,000W

Kích thước làm việc: 400W×375D mm, tấm phẳng song song (Multi)

Khí phản ứng: Kiểm soát lưu lượng khối lượng, 2 hệ thống + 1 cho xả khí

Bơm chân không: Đã bao gồm, Thể tích khí thải 1,000L~1500L/ phút

Thiết bị an toàn: Công tắc cửa, Khóa bảng điều khiển bên, Công tắc dừng khẩn cấp, Thiết bị ngăn ngừa quá nhiệt

Kích thước bên trong （W×D×H mm）: 600×554×440mm

Kích thước bên ngoài （W×D×H mm）: 900×1000×2040mm

Nguồn điện: AC220V ~ AC 415V 3 pha với máy hạ áp

Datasheet