Đăng ký nhận chiết khấu độc quyền, cập nhật giá sỉ và tin sản phẩm mới nhất ngay tại hộp thư của bạn.
Bằng cách đăng ký, bạn đồng ý với Điều khoản dịch vụ và Chính sách bảo mật của chúng tôi.
Kết nối trực tiếp với đội ngũ chuyên gia của chúng tôi
Chế độ Plasma: DP/RIE
Tần số dao động: 13.56MHz
Công suất RF: 1000W ~ 2,000W
Kích thước làm việc: 400W×375D mm, tấm phẳng song song (Multi)
Khí phản ứng: Kiểm soát lưu lượng khối lượng, 2 hệ thống + 1 cho xả khí
Bơm chân không: Đã bao gồm, Thể tích khí thải 1,000L~1500L/ phút
Thiết bị an toàn: Công tắc cửa, Khóa bảng điều khiển bên, Công tắc dừng khẩn cấp, Thiết bị ngăn ngừa quá nhiệt
Kích thước bên trong （W×D×H mm）: 600×554×440mm
Kích thước bên ngoài （W×D×H mm）: 900×1000×2040mm
Nguồn điện: AC220V ~ AC 415V 3 pha với máy hạ áp
