Kính hiển vi điện tử quét ZEISS EVO18

Độ phân giải:

3 nm (2 nm) @ 30 kV SE và W (LaB6)

4 nm @ 30 kV chế độ VP

20 nm (9 nm) @ 1 kV SE và W (LaB6)

Điện áp gia tốc: 0.2 đến 30 kV

Dòng đầu dò: 0.5 pA đến 5 µA

Độ phóng đại: < 5 – 1,000,000 lần

Trường quan sát (FOV): 6 mm tại khoảng cách làm việc phân tích (AWD)

Hình học tia X: AWD 8.5 mm và góc lấy tín hiệu 35°

Chế độ OptiBeam*: Độ phân giải, độ sâu, phân tích, góc nhìn fisheye

Dải áp suất: 10 – 400 Pa

Các đầu dò (detector) có sẵn:

ETSE – Đầu dò electron thứ cấp Everhart-Thornley (tiêu chuẩn)

BSD – Đầu dò electron tán xạ ngược diode 5 phân đoạn (tiêu chuẩn)

VPSE – Đầu dò electron thứ cấp áp suất biến đổi

SCD – Đầu dò dòng mẫu

EDS – Phổ kế tán sắc năng lượng

WDS – Phổ kế tán sắc bước sóng

CL – Đầu dò phát quang catot

STEM – Đầu dò hiển vi điện tử truyền qua quét

Kích thước buồng: 365 mm (đường kính) × 275 mm (cao)

Bàn đặt mẫu compucentric điều khiển motor 5 trục:

X = 125 mm

Y = 125 mm

Z = 50 mm (điều khiển motor) (chiều cao mẫu tối đa 145 mm khi tháo module Z, nghiêng và xoay)

T (nghiêng) = -10 đến 90°

R (xoay) = 360° (liên tục)

Điều khiển bằng chuột, joystick hoặc bảng điều khiển

Hệ thống lưu trữ ảnh:

Độ phân giải: lên đến 32k × 24k (ở tốc độ quét 2 trở lên)

Thu nhận tín hiệu bằng tích hợp và lấy trung bình

Hiển thị hình ảnh:

Màn hình phẳng chất lượng cao

Hỗ trợ hiển thị 2 kênh

Hệ thống điều khiển:

Giao diện SmartSEM** vận hành bằng chuột và bàn phím

Hệ điều hành Windows® đa ngôn ngữ

Yêu cầu nguồn và tiện ích:

100 – 230 V, 50/60 Hz, 1 pha

Không cần hệ thống làm mát bằng nước

Bao gồm: joystick, bàn phím chuẩn US, bảng điều khiển chuẩn US và chuột

Datasheet