Kính hiển vi điện tử ZEISS Gemini SEM 560

Độ phân giải:

0.6 nm @ 30 kV (STEM)

0.7 nm @ 15 kV

1.0 nm @ 1 kV TD

1.2 nm @ 1kV

Dòng dò: 3 pA - 40 nA (có sẵn Cấu hình 100 nA )

Trường nhìn tối đa ở chế độ độ phân giải cao: 5 mm ở 5 kV và WD = 8.5 mm

Độ phóng đại: 8 – 2,000,000

Cơ giới 5 trục:

X = 130 mm; Y = 130mm

Z = 50 mm

T = -4º đến 70º

R = 360º (liên tục)

Kích thước mẫu thử: đường kính lên tới 179 mm cho toàn bộ phạm vi di chuyển là 130 mm.

Giai đoạn tùy chọn bổ sung có sẵn theo yêu cầu

Datasheet