Bộ điều khiển lưu lượng khối lượng Brooks Instrument 5861i (10, 100 lpm, 1500 psi / 100 bar)

- Dải Lưu Lượng và Đánh Giá Áp Suất:

Dải lưu lượng N2 (Đơn vị tương đương):

Tối thiểu F.S.: 10

Tối đa F.S.: 100 lpm

Đơn vị áp suất psi/bar: 1500 psi / 100 bar

Phân loại mô-đun PED H: SEP

- Hiệu suất

Độ chính xác lưu lượng: 1% toàn thang đo

Phạm vi kiểm soát: 50:1

Khả năng lặp lại & tái tạo: 0,25% tốc độ

Độ tuyến tính: Bao gồm trong độ chính xác

Thời gian phản hồi (Thời gian ổn định trong phạm vi ± 2% F.S. cho bước lệnh 0 - 100%): < 3 giây

Độ ổn định bằng không: < ± 0,2% toàn thang đo mỗi năm

Hệ số nhiệt độ

Bằng không: < 0,075% toàn thang đo mỗi °C.

Khoảng cách: < 1,0% độ dịch chuyển toàn thang đo so với hiệu chuẩn ban đầu trong phạm vi 10 - 50 °C (50 - 122 °F)

Hệ số áp suất: ± 0,3% trên mỗi psi (0 - 200 psi N2)

Độ nhạy thái độ: < 0,5% độ lệch tối đa toàn thang đo so với độ chính xác đã chỉ định sau khi đặt lại về 0

- Đánh giá

Phạm vi nhiệt độ hoạt động 5 - 65 °C (41 - 149 °F)

Chênh lệch áp suất tối thiểu (Bộ điều khiển): 10 psi / 0,69 bar

Chênh lệch áp suất tối đa (Bộ điều khiển): 50 psi / 3,45 bar

Độ toàn vẹn rò rỉ (Bên ngoài): 1 x 10-9 atm. cc/sec He

- Cơ học

Loại van: Thường đóng, Thường mở, Đồng hồ đo

Vật liệu tiếp xúc chính: Thép không gỉ 316L, Thép không gỉ hợp kim cao, Viton® fluoroelastomers, Buna-N, Kalrez® và Teflon®

- Điện

Kết nối điện: Cổng kết nối Sub D-Type 15 chân (DA-15P) hoặc đầu nối Card Edge (chỉ dành cho các mẫu điều khiển)

Tín hiệu đầu vào (Điểm đặt): NA

Tín hiệu đầu ra: 0 đến 5 Vdc vào tải 2000 ohm (hoặc lớn hơn)

Tín hiệu đầu ra tham chiếu: 5 Vdc ±0,01 Vdc, tải tối đa 2 K ohm

- Yêu cầu về công suất: 1,05 watt, +15 Vdc @ 35 mA, -15 Vdc @ 35 mA