Đầu đo áp suất chân không Plasma quang học INFICON Augent OPG550

Hệ thống đo lường: Cathode lạnh theo nguyên lý magnetron đảo ngược và độ dẫn nhiệt theo nguyên lý pirani

Phạm vi đo lường (N2):

1 × 10^-7 ... 1000 mbar

0.75 × 10^-7 ... 750 Torr

Độ chính xác giá trị đọc áp suất tổng thể (N2)

1 × 10^-7 ... 100 mbar: 30% giá trị đọc

100 … 1000 mbar: 50% giá trị đọc

Độ lặp lại giá trị đọc áp suất tổng thể (N2)

1 × 10-7 ... 100 mbar: 5% giá trị đọc

Phân tích khí

Hệ thống đo lường: Phổ phát xạ quang học tích hợp plasma phóng điện DC, máy quang phổ và thiết bị điện tử thông minh

Phạm vi đo lường (N2):

1 × 10-7 ... 5 mbar

7.6 × 10-8 ... 3.8 Torr

Giới hạn phát hiện buồng 25 lít

Rò rỉ O2 trong phương pháp tăng áp suất: ≥0.3 mTorr / phút

Rò rỉ O2 trong quá trình bơm xuống từ khí quyển với N2 lấp đầy: ≥1 mTorr / phút

Tần số lấy mẫu: <10 Hz

Thời gian tiếp xúc điển hình: 5 … 1000 ms

Phạm vi quang phổ: 313 … 870 nm

Áp suất

Giới hạn ở khí trơ <50°C: ≤10 bar (tuyệt đối)

Nhiệt độ

Hoạt động (môi trường xung quanh): +5 ... +50 °C

Lưu trữ: -20 ... +70 °C

Nung chân không mặt bích có đơn vị điện tử: ≤80 °C

Nung chân không mặt bích không có đơn vị điện tử: ≤120 °C

Độ ẩm tương đối trong 30 ngày một năm: ≤95% (không ngưng tụ)

Điện áp cung cấp

Tại đồng hồ đo: +14.5 ... +30 V (dc)

Ripple: ≤1 V (p-p)

Công suất tiêu thụ: ≤5 W

Cầu chì cần kết nối: ≤1 AT

Tín hiệu đầu ra

Analog: 0 ... +10 V (dc)

Kỹ thuật số: RS232C

Kết nối điện: D-Sub, 9 chân, đầu đực

Điện áp cao (trong buồng đo)

Điện áp đánh lửa: ≤4.5 kV

Điện áp hoạt động: ≤3.3 kV

Thể tích bên trong: ≤46 m3 (2.81 inch3)

Trọng lượng: ≤700 g

Kích thước

Đế chân: 68 × 68 mm

Chiều cao: ≤154 mm

Cấp bảo vệ: IP40

Tiêu chuẩn: CE