ウェーハおよびチップ検査装置

Manncorp Sherlock-300B 自動光学テスター

Manncorp Sherlock-300I ベンチトップ自動光学テスター

Manncorp Sherlock-300F ベンチトップ自動光学テスター

Schloeder SESD 30000 ESD-Simulator (30kV; 150pF; 330Ω)

Schloeder SESD 230 ESD-Simulator (30kV; 150pF; 330 Ohm)

DaiHan DH.Chi0020 -20℃+40℃ ヘビーデューティ 冷却外部循環器／チラー, 17リットル, 230V 60Hz(=SL.Chi0020)

PEGO ESD-2005Q 静電気放電発生器（LCDディスプレイ） (0.1－30kV ±3％, 0.1－30kV ±3％)

PEGO ESD-2000Q 静電気放電発生器（LCDディスプレイ） (0.1－20kV ±3％, 0.1－20kV ±3％)

PEGO ESD-2005 静電気放電発生器 (0.5～30kV±3％)

PEGO ESD-2000 静電気放電発生器 (0.1～20kV±3％)

Tekbox TBESDT2 電流検出トランスデューサ (1 Ω ± 1%, DC – 4 GHz)

Tekbox TBESDT1 電流検出トランスデューサ (2.08 Ω ± 1%, DC – 4 GHz)

Nordson SQ3000M2 自動光学検査および計測システム

Nordson SQ3000+ 自動光学検査

SPIROX MA6503D マイクロ検査システム (300μm ~ 2000μm, 8- and 12-inch wafer)

SPIROX MA6500 マクロ検査システム (300μm ~ 2000μm, 8 and12 inch)