ウェーハおよびチップ検査装置

DaiHan DH.Chi0020 -20℃+40℃ ヘビーデューティ 冷却外部循環器／チラー, 17リットル, 230V 60Hz(=SL.Chi0020)

PEGO ESD-2005Q 静電気放電発生器（LCDディスプレイ） (0.1－30kV ±3％, 0.1－30kV ±3％)

PEGO ESD-2000Q 静電気放電発生器（LCDディスプレイ） (0.1－20kV ±3％, 0.1－20kV ±3％)

PEGO ESD-2005 静電気放電発生器 (0.5～30kV±3％)

PEGO ESD-2000 静電気放電発生器 (0.1～20kV±3％)

Tekbox TBESDT2 電流検出トランスデューサ (1 Ω ± 1%, DC – 4 GHz)

Tekbox TBESDT1 電流検出トランスデューサ (2.08 Ω ± 1%, DC – 4 GHz)

Tekbox TBLDS1 Pre-Compliance Load Dump Simulator

Tekbox TBESDMP1 ESD-Target mounting panel

TAITEC CL-81 Chiller For Open Circuit (±0.3℃; 140W)

TAITEC CL-151 Chiller For Open Circuit (±0.3℃; 270W)

TAITEC CL-601 Chiller For Open Circuit (±0.05 〜 0.5℃; 750W)

TAITEC CH-402N Cooling Pump (-10℃ ~ +80℃; ±0.5℃; 400W, R404A)

TAITEC CH-602N Cooling Pump (-10℃ ~ +80℃; ±0.5℃; 600W, R404A)

3ctest ESDD 静電気放電イミュニティ試験表 (470 kΩ × 2)

3ctest ESD-CALA ESD校正セット (30 kV)