Brooks Instrument CMX-0 Capacitance Manometers (5 Torr, ±0.25%, 15 Pin Male Sub D, KF 16 Flange)
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Sensor Temperature: Unheated
Electrical Connector:15 Pin Male Sub D
Fitting: KF 16 Flange
Ambient Operating Temperature: 0°C to 50°C
Full Scale Pressure Range: 5 Torr
Accuracy: ±0.25% of Reading
Response Time: Pressure: 40mSec
Span Temperature Coefficient: 0.02% Reading/°C
For more details, see datasheet.
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