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X-axis measuring range: 0~100mm
X-axis indication error: ±(0.6+2L/100)µm
Z1-axis measuring range: ±30mm
Z1-axis resolution: 0.1μm
Z1-axis indication error: ±(0.6+|5H|/100)µm
Scanning speed: 0~5mm/s adjustable
Manufacturer: Chotest Technology Inc.
Datasheet
