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Image Senor: 5M CMOS
Field of view: φ6mm×L116mm & φ20mm×L130mm
Accuracy: ±0.7μm(Without Stitching) & ±2μm(Without Stitching)
Resolution: 0.1μm
Loading Capacity: 2kg
Size(LxWxH): 500×280×670mm
Weight: 30kg
Datasheet
