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Image Senor: 5M CMOS
Field of view：W130mm×L130mm & W200mm×L200mm
Depth of Field: 3mm & 30mm
Working Distance: 120mm
Accuracy: ±2μm(Without stitching) & ±5μm(Without stitching)
Resolution: 0.1μm
Loading Capacity: 5kg
Size(LxWxH): 531×386×731mm
Weight: 49kg
Datasheet
