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Image Senor: 20M CMOS
Field of view：W230mm×L130mm & W300mm×L200mm
Depth of Field: 3mm & 30mm
Working Distance: 120mm
Accuracy: ±1.5μm(Without stitching) & ±3μm(Without stitching)
Resolution: 0.1μm
Loading Capacity: 5kg
Size(LxWxH): 531×503×731mm
Weight: 75kg
Datasheet
